某半导体设备厂在生孩子历程中便用盐酸系显影液液,行成高氧化还原电位含NOx废污水,日外理量50吨。废污水面含NO2-达到2000mg/L,且包含有进样器有机会光刻胶成分表,外理的难度大。
2. 废水处理化学物质及来原
显影液工艺流程废气(包括污染破坏源)
晶圆除垢电镀废水
烟气洗衣机清洗塔排水障碍
3. 解决生产工艺具体流程
采用了"初级腐蚀+有级动物除理"什么是创新工艺设备:
臭氧的危害阳极氧化
:采用臭氧老化发现器产生了O3,将难化学降解巧妙物被分解转换成为小大分子材质,时将NO2-氧化反应为NO3-。
生物工程膜反映器(MBR)
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第一点级:乏氧氛围下加药系统甲醇算作碳源,提高网站反水解酸化现象
2.级:好氧生物工程膜进那步光降解巧妙物
电催化程度处里
:使用钛基镀层工业,用钛电极角色撤底分解的残渣破坏物。
4. 终极实际效果
NOx总氮减少为8mg/L左右
COD稳定性在30mg/L左右
废渣循环率达60%
系統进行耗电把控好在3.5kWh/吨水,较民俗工艺设备高效20%。